Die Entwicklung der Ultra-Hoch-Vakuumtechnik hat gezeigt, daß für die Er 8 zielung von Drucken 10- Torr die Gasabgabe der Wände eines Vakuum systems von besonderer Bedeutung ist. Bei den heute üblichen Laboreinheiten werden die Apparaturen so ausgelegt, daß das eigentliche UHV-System bis 0 450 C ausgeheizt werden kann, um bei den normalerweise zur Verfügung stehenden kleinen Sauggeschwindigkeiten die Gasabgabe der Wände zu redu zieren. Da für den Aufbau experimenteller Anordnungen im UHV eine Reihe von Metallen gebraucht werden, deren Temperatur in der Vakuumkammer in weiten Grenzen variieren kann, soll in der vorliegenden Arbeit die Gasabgabe von Metallproben, die einem normalen Ausheizprozeß unterzogen wurden, in Abhängigkeit von der Temperatur untersucht werden. Der Totaldruck ist für die dabei auftretenden Prozesse nur eine qualitative Meßgröße. Um quantitative Resultate zu erzielen, wurden die Untersuchungen mit einem Omegatron-Massen spektrometer durchgeführt. Damit ergeben sich als wesentliche Teile der Arbeit Die Partialdruckeichung des Omegatrans Die Messung der Gasabgabe von Metallen 7 2. Die Partialdruckeichung des Omegatrons 2. 1 Das System Das Omegatron ist eine Anordnung, die es gestattet, die Zyklotron-Resonanz frequenz eB W- m von Ionen in einem Magnetfeld zu messen. Ursprünglich wurde es von SOMMER, THOMAS und HIPPLE [1] zur Messung des magnetischen Moments des Protons eingesetzt. ALPERT [2] benützte eine vereinfachte Ausführung zur Restgas analyse in UHV-Systemen. Seither sind eine Reihe von Veröffentlichungen er schienen, die zeigen, das ein besonderes Interesse in der Vakuummeßtechnik an einem kleinen ausheizbaren Partialdruckmeßgerät besteht [3 bis 36].

Klappentext

Die Entwicklung der Ultra-Hoch-Vakuumtechnik hat gezeigt, daß für die Er­ 8 zielung von Drucken< 10- Torr die Gasabgabe der Wände eines Vakuum­ systems von besonderer Bedeutung ist. Bei den heute üblichen Laboreinheiten werden die Apparaturen so ausgelegt, daß das eigentliche UHV-System bis 0 450 C ausgeheizt werden kann, um bei den normalerweise zur Verfügung stehenden kleinen Sauggeschwindigkeiten die Gasabgabe der Wände zu redu­ zieren. Da für den Aufbau experimenteller Anordnungen im UHV eine Reihe von Metallen gebraucht werden, deren Temperatur in der Vakuumkammer in weiten Grenzen variieren kann, soll in der vorliegenden Arbeit die Gasabgabe von Metallproben, die einem normalen Ausheizprozeß unterzogen wurden, in Abhängigkeit von der Temperatur untersucht werden. Der Totaldruck ist für die dabei auftretenden Prozesse nur eine qualitative Meßgröße. Um quantitative Resultate zu erzielen, wurden die Untersuchungen mit einem Omegatron-Massen­ spektrometer durchgeführt. Damit ergeben sich als wesentliche Teile der Arbeit Die Partialdruckeichung des Omegatrans Die Messung der Gasabgabe von Metallen 7 2. Die Partialdruckeichung des Omegatrons 2. 1 Das System Das Omegatron ist eine Anordnung, die es gestattet, die Zyklotron-Resonanz­ frequenz eB W- m von Ionen in einem Magnetfeld zu messen. Ursprünglich wurde es von SOMMER, THOMAS und HIPPLE [1] zur Messung des magnetischen Moments des Protons eingesetzt. ALPERT [2] benützte eine vereinfachte Ausführung zur Restgas­ analyse in UHV-Systemen. Seither sind eine Reihe von Veröffentlichungen er­ schienen, die zeigen, das ein besonderes Interesse in der Vakuummeßtechnik an einem kleinen ausheizbaren Partialdruckmeßgerät besteht [3 bis 36].

Inhalt

1. Problemstellung.- 2. Die Partialdruckeichung des Omegatrons.- 2.1 Das System.- 2.2 Messungen am Omegatron.- 3. Die Entgasung von Metallen.- 3.1 Zur Theorie der Entgasungsprozesse.- 3.2 Zur Messung der Entgasungsprozesse.- 3.3 Meßergebnisse.- 4. Zusammenfassung.- 5. Literaturverzeichnis.