Inhalt

1. Einleitung.- 2. Aufbau einer Beugungsanlage.- 3. Beugung an zweidimensionalen Modellobjekten.- 3.1. Allgemeine Theorie der Fouriertransformation an zweidimensionalen periodischen Objekten.- 3.2. Diskussion von Beispielen.- 4. Quantitative Auswertung der Intensität in Beugungsdiagrammen.- 4.1. Einfluß der Phasenschiebung der Photoplatte.- 4.2. Vergleich mit Modellobjekten.- 5. Anwendungsbeispiele.- 5.1. Bestimmung der Defokussierung und des Astigmatismus.- 5.2. Ortsfrequenzspektrum von Trägerfolien.- 5.3. Vermessung des Magnetisierungsripple in ferromagnetischen Schichten.- 5.4. Beugung an Aufnahmen biologischer Dünnschnitte.- Literatur.- Abbildungen.