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Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

Dominik Stöffler
Kartonierter Einband, 113 Seiten
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In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kon...

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Beschreibung

In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.

Produktinformationen

Titel:
Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
Untertitel:
Dissertationsschrift
Autor:
Dominik Stöffler
EAN:
9783866448438
ISBN:
978-3-86644-843-8
Format:
Kartonierter Einband
Hersteller:
KIT Scientific Publishing
Herausgeber:
Karlsruher Institut für Technologie
Genre:
Weitere Physik- & Astronomie-Bücher
Anzahl Seiten:
113
Gewicht:
232g
Größe:
H240mm x B170mm x T8mm
Jahr:
2014
Untertitel:
Deutsch

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Tags

#Elektromigration, #Elektronenstrahllithografie, #Maskenbedampfung, #Nanostrukturen, #Rastersondenmikroskopie

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