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Sputtering by Particle Bombardment II

Beschreibung

Inhalt and overview.- Sputtering of multicomponent materials.- Chemical sputtering.- Sputtering by electrons and photons.- Sputtering of solids with neutrons.- Heavy ion sputtering induced surface topography development.- Development of surface topography due ...

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Beschreibung

Inhalt
and overview.- Sputtering of multicomponent materials.- Chemical sputtering.- Sputtering by electrons and photons.- Sputtering of solids with neutrons.- Heavy ion sputtering induced surface topography development.- Development of surface topography due to gas ion implantation.

Produktinformationen

Titel:
Sputtering by Particle Bombardment II
Untertitel:
Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neutron Sputtering, Surface Topography
Editor:
R. Behrisch
EAN:
9783662311691
ISBN:
3662311690
Format:
Kartonierter Einband
Herausgeber:
Springer Berlin Heidelberg
Veröffentlichung:
23.08.2014
Anzahl Seiten:
412
Gewicht:
594g
Größe:
H229mm x B152mm x T23mm
Jahr:
2014
Untertitel:
Englisch
Auflage:
Softcover reprint of the original 1st edition 1983
Lesemotiv:
Verstehen