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Sputtering by Particle Bombardment I

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Klappentext With contributions by numerous experts Inhalt and overview.- Sputtering by ion bombardment theoretical concepts.- Theoretical aspects of monocrystal sputtering.- Sputtering yield measurements.- Sputtering yields of single crystalline targets....

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Beschreibung

Klappentext

With contributions by numerous experts


Inhalt
and overview.- Sputtering by ion bombardment theoretical concepts.- Theoretical aspects of monocrystal sputtering.- Sputtering yield measurements.- Sputtering yields of single crystalline targets.

Produktinformationen

Titel:
Sputtering by Particle Bombardment I
Untertitel:
Physical Sputtering of Single-Element Solids
Editor:
R. Behrisch
EAN:
9783662308882
ISBN:
3662308886
Format:
Kartonierter Einband
Herausgeber:
Springer Berlin Heidelberg
Veröffentlichung:
23.08.2014
Anzahl Seiten:
300
Gewicht:
458g
Größe:
H235mm x B155mm x T17mm
Jahr:
2014
Untertitel:
Englisch
Auflage:
Softcover reprint of the original 1st edition 1981
Lesemotiv:
Verstehen