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Plasma Chemistry III

Beschreibung

Inhalt
Plasma chemistry of fluorocarbons as related to plasma etching and plasma polymerization.- The Mechanism and kinetics of plasma polymerization.- Elementary processes at solid surfaces immersed in low pressure plasmas.

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Beschreibung

Inhalt
Plasma chemistry of fluorocarbons as related to plasma etching and plasma polymerization.- The Mechanism and kinetics of plasma polymerization.- Elementary processes at solid surfaces immersed in low pressure plasmas.

Produktinformationen

Titel:
Plasma Chemistry III
Untertitel:
Topics in Current Chemistry 94
Editor:
M. Venugopalan
,
S. Veprek
EAN:
9783662159729
ISBN:
3662159724
Format:
Kartonierter Einband
Herausgeber:
Springer Berlin Heidelberg
Veröffentlichung:
03.10.2013
Anzahl Seiten:
140
Gewicht:
256g
Größe:
H244mm x B170mm x T8mm
Jahr:
2013
Untertitel:
Englisch
Auflage:
Softcover reprint of the original 1st edition 1980
Lesemotiv:
Verstehen