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Mikromechanik

Beschreibung

Inhalt
1 Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik.- 2 Werkstoffe der Mikromechanik.- 3 Reinraumtechnik.- 4 Technologie der Mikromechanik.- 5 Meßmethoden.- 6 Anwendungen der Mikromechanik.- 7 Mikrosystemtechnik.

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