Das Buch beschreibt die Technologien rund um die Montage hybrider Mikrosysteme. Nicht der Entwurf oder das Mikrosystem als solches stehen im Vordergrund, sondern die Fertigungstechnologien zu ihrer Beherrschung. Neben den reinen Fügeverfahren werden die Handhabung sowie die Prozessüberwachung und -steuerung, die Sensorentwicklung und -integration und die zu verwendenden Werkstoffe behandelt. Ziel des Buches ist eine umfassende Dokumentation neuer Montage- und Fügetechnologien für hybrid aufgebaute, nicht für monolithische Mikrosysteme. Es dient dem Wissenschaftler ebenso wie dem Anwender als unterstützendes Werkzeug für die Auswahl des aus technologischer Sicht prädestinierten Verfahrens für hybride Mikrosysteme.

Ziel des Buches ist eine umfassende Dokumentation neuer Montage- und Fügetechnologien für hybrid aufgebaute, nicht für monolithische Mikrosysteme. Es soll dem Wissenschaftler ebenso wie dem Anwender als unterstützendes Werkzeug für die Auswahl des aus technologischer Sicht prädestinierten Verfahrens für hybride Mikrosysteme dienen.

Autorentext

Professor Dr.-Ing. Ulrich Dilthey

Langjährige Tätigkeit in Führungspositionen weltweit operierender, führender Unternehmen auf den Gebieten Schweißtechnik, Mechanisierung, Automatisierung und Robotic. 1989 Berufung zum Universitätsprofessor für Schweißtechnische Fertigungsverfahren und Ernennung zum Direktor des gleichnamigen Instituts der RWTH Aachen. Aktives Mitglied in verantwortlichen Positionen im VDI, im DVS (Mitglied des Präsidiums, Vorsitzender des Ausschusses für Technik), im International Institute of Welding (IIW, Mitglied des Board of Directors, Chairman des Technical Management Boards), in der American Welding Society (AWS), im Verein VDEh, in der DGM, der DECHEMA und vielen anderen Organisationen, nationalen und internationalen technischen Ausschüssen. Redaktionsbeirat führender technischer Zeitschriften und Programmkommissionen technischer Tagungen. 1972 erhielt Herr Professor Dilthey die Borschers Plakette der RWTH-Aachen, 1996 den Adams Memorial Membership Award der AWS, 1996 den Ehrenring des DVS, 1998 die Ehrenmedaille des VDI, 2001 die Stanislaw Olszewski Medaille der Schweißtechnischen Sektion des Vereins Polnischer Ingenieure, 2002 die Brooker Medal des TWI. Anette Brandenburg, geboren am 01. Oktober 1967 in Simmerath, studierte von 1987 bis 1992 an der TU München Maschinenwesen mit dem Schwerpunkt Fertigungs- und Betriebstechnik. Nach dem Studium arbeitete sie drei Jahre im Institut für Schweißtechnische Fertigungsverfahren (ISF) der RWTH Aachen auf dem Gebiet der Klebtechnik. Im Juli 1996 promovierte sie bei Prof. Dr.-Ing. Ulrich Dilthey. Seitdem ist sie als Oberingenieur im ISF tätig. 1996 war sie maßgeblich an der Gründung und dem Aufbau des Technologie Centrums Kleben in Übach-Palenberg (bei Aachen), der Klebtechnischen Lehranstalt des DVS, beteiligt. Im Rahmen der Arbeitsgruppe V8 des DVS arbeitete sie an der Erstellung der DVS-Ausbildungsrichtlinien für Klebpraktiker undKlebfachkräfte mit.

Inhalt
Handhabung und Justage.- Greifer und Montagemaschinen.- Passive Justage für die Montage.- Passive Justage zur Prüfung und Kontaktierung von Mikrosystemen.- Aktive Laserstrahljustage.- Fügeverfahren.- Weichaktivlöten.- Transient Liquid Phase Bonding.- Laserstrahl-Löten.- Laserstrahlbonden.- Laserstrahlmikroschweißen.- Elektronenstrahl-Schweißen.- Ultraschallschweißen von Kunststoffen.- Mikro-Montagespritzgießen.- Mikrokleben.- Prozesskontrolle.- Offline-Verfahren.- Inline-Verfahren.