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Epitaxie von Metallaufdampfschichten

Beschreibung

Unter Epitaxie versteht man das orientierte Aufwachsen dünner Schichten auf einer kristallinen Unterlage. Im Idealfall erreicht man einkristalline Schichten, welche die Kristallorientierung der Unterlage fortsetzen. Bei der Aufdampf methode muß man in der Rege...

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