Mikrosystemtechnik trägt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen dieser künftigen Schlüsseltechnologie Rechnung. Als Lehrbuch konzipiert, erschließt es dem Leser Grundlagen und Anwendungen komplexer Mikrosysteme, in denen elektronische, mechanische und optische Funktionselemente auf kleinstem Raum integriert sind.

Grundlagen und Praxiswissen in einem Buch

Autorentext

Prof. Dr. Friedemann Völklein lehrt an der FH Wiesbaden.
Dr. Thomas Zetterer ist wissenschaftlicher Abteilungsleiter am Institut für Mikrotechnik in Mainz.

Inhalt
Basistechnologien: Reinraumtechnologie - Substrate und Materialien der Mikrosystemtechnik - Dünnschichttechnologie - Lithographie - Planare Mikrostrukturierung - Dreidimensionale Mikrostrukturierung - Grundstrukturen und Anwendungen - Aufbau- und Verbindungstechniken, Konzepte zur Systemintegration - Ausgewählte Beispiele komplexer Mikrosysteme - Übungen