Aufbau einer rechnergesteuerten Laserschweißanlage und deren Qualifizierung für den hermetischen Gehäuseverschluß

Diplomarbeit aus dem Jahr 1998 im Fachbereich Physik - Sonstiges, Note: 1.0, Fachhochschule Lübeck, Sprache: Deutsch, Abstract: In der vorliegenden Arbeit wurde eine Laserschweißanlage aufgebaut und in Betrieb genommen, mit deren Hilfe Metallgehäuse mikroelektronischer Schaltungen in definierten Atmosphären hermetisch verschlossen werden können.
Die Anlage besteht aus einem gepulsten 40W Nd:YAG Festkörperlaser, einer Handschuhbox mit integrierter 5-Achsen-Bewegungseinrichtung und einem externen Handarbeitsplatz mit 3-Achsen-Bewegungseinrichtung. Im Zuge der Installation wurden alle Komponenten zu einer Gesamtanlage integriert. Des weiteren wurde für den Handarbeitsplatz eine Steuerungssoftware entwickelt, die eine weitgehend automatisierte Erstellung von NC-Programmen aus externen HPGL-Daten ermöglicht. Nach der Installation wurde der Prozess des hermetischen Gehäuseverschlusses durch Schweißversuche erarbeitet und qualifiziert.