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Systemeigenschaften von Silicium-Planar-Pellistoren

Robert Aigner
Kartonierter Einband, 196 Seiten
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Silicium-Planar-Pellistoren sind miniaturisierte Gassensoren, die mit Methoden der Si-Mikromechanik hergestellt werden. Brennbare ...

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Beschreibung

Silicium-Planar-Pellistoren sind miniaturisierte Gassensoren, die mit Methoden der Si-Mikromechanik hergestellt werden. Brennbare Gase werden kalorimetrisch über die Reaktionswärme einer katalytischen Oxidation detektiert. Entscheidende Kriterien für den Einsatz der Sensoren sind die Nachweisgrenze und die Langzeitstabilität, sowie die Eignung zur Gasidentifikation. Technologische Einflüsse auf diese Eigenschaften werden untersucht und Modelle zur theoretischen Beschreibung formuliert, wodurch eine gezielte Dimensionierung erfolgen kann. Die durch technologische Weiterentwicklungen und neue Varianten des Sensorbetriebs erreichten Verbesserungen werden anhand von Messergebnissen dargestellt.

Produktinformationen

Titel:
Systemeigenschaften von Silicium-Planar-Pellistoren
Untertitel:
Dissertationsschrift
Autor:
Robert Aigner
EAN:
9783831681198
Format:
Kartonierter Einband
Herausgeber:
Utz Verlag
Genre:
Sonstige Technikbücher
Anzahl Seiten:
196
Gewicht:
355g
Größe:
H13mm x B206mm x T146mm
Auflage:
2., unveränderte Auflage

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