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Entwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons

Von:
Johannes Manz

Beschreibung

In dieser Arbeit wurde ein alternatives Konzept eines MEMS-Mikrofons entworfen, um das Signal-Rausch-Verhältnis zu verbessern. Im neuen Bauelementkonzept wird das Schallsignal durch die Kapazitätsänderung in einer mikromechanischen Kammstruktur detektiert. Zur...

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In dieser Arbeit wurde ein alternatives Konzept eines MEMS-Mikrofons entworfen, um das Signal-Rausch-Verhältnis zu verbessern. Im neuen Bauelementkonzept wird das Schallsignal durch die Kapazitätsänderung in einer mikromechanischen Kammstruktur detektiert. Zur Unterstützung des Entwurfsprozesses wurde ein physikalisch basiertes modulares Simulationsmodell abgeleitet, das die gesamte Mikrofonfunktion prädiktiv abbildet. Die erfolgreiche Umsetzung des Konzepts zeigt sich in den realisierten Prototypen, die zusammen mit umfassenden theoretischen Untersuchungen das Potential des neuartigen Mikrofonkonzepts unterstreichen.

Produktinformationen

Titel:
Entwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons
Untertitel:
Selected Topics of Electronics and Micromechatronics /Ausgewählte Probleme der E
Autor:
Johannes Manz
EAN:
9783844075571
ISBN:
978-3-8440-7557-1
Format:
Kartonierter Einband
Genre:
Elektronik & Elektrotechnik
Veröffentlichung:
30.09.2020
Anzahl Seiten:
121
Jahr:
2020
Lesemotiv:
Verstehen

Tags

#Kammstruktur, #Mems, #Mikrofon, #Rauschen

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