Die vorliegende Arbeit entstand wiihrend meiner Tiitigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut Produktionstechnik und Automatisierung (IPA). Stuttgart. Als Danke schon fUr den groBen Rtickhalt wiihrend des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Frau Ulrike. meinen Schwiegereltem sowie meinen verstorbenen Eltem. Herm Professor Dr.-Ing. Dr. h.c. E. Westkiimper danke ich fUr die wohlwollende Unter sttitzung und Forderung meiner Arbeit. B. Hofflinger ftir die Mein Dank gilt auch in gleicher Weise Herm Professor Dr. rer. nat. Durchsicht und Ubemahme des Mitberichts. Ftir die Untersttitzung und konstruktive Diskussionen danke ich allen Kolleginnen und Kollegen. Hierbei gilt der Dank insbesondere Herm Dr.-Ing. B. Klumpp. Herm Dr.-Ing. M. Schweizer und Herm Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. mult. R.D. Schraft. Ferner danke ich den Herren Dipl.-Ing. A. Filipovic und Dipl.-Ing. P. Fode fUr die intensiven Fachgesprache. Kritik und Untersttitzung. Einen besonderen Dank mtichte ich auch den Herren Dipl.-Ing. D. Werner und Dipl.-Ing. B. Mtiller fur ihre ausdauemde Diskussions bereitschaft wiihrend der Entstehung dieses Werkes aussprechen.

Inhalt
0 Abkürzungen und Formelzeichen.- 1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Reinstgasversorgung.- 2.3 Künstliche Partikelerzeugung.- 2.4 Prüfung der Partikelkontamination in Reinstgasversorgungskomponenten.- 3 Analyse der Randbedingungen für das Prüfverfahren.- 3.1 Anwendungen und Einsatzgebiete für das zu entwickelnde Prüfverfahren.- 3.2 Partikelverhalten und Systemdynamik von Reinstgasversorgungssystemen.- 3.3 Prüfobjekte und notwendige Prüfrandbedingungen.- 3.4 Betriebsbedingungen in Reinstgasversorgungssystemen.- 3.5 Partikelmeßtechnik.- 4 Anforderungen an das zu entwickelnde Prüfverfahren.- 5 Entwicklung der Prüfaufbauten.- 5.1 Basisprüfauf bauten.- 5.2 Entwicklung der Teilmodule.- 5.3 Herleitung testkomponentenspezifischer Prüfaufbauten.- 6. Entwicklung der Prüfmethode.- 6.1 Entwicklung der Standardprüfmethode.- 6.2 Entwicklung von Sonderprüfungen.- 6.3 Auswertung und Darstellung der Meßdaten.- 7. Umsetzung und Erprobung des Verfahrens an ausgewählten praxisbezogenen Anwendungen.- 7.1 Handhabung des Prüfstandes.- 7.2 Ausgewählte praxisbezogene Anwendungen des Prüfverfahrens.- 7.3 Bewertung der Anwendbarkeit des Verfahrens.- 8. Zusammenfassung und Ausblick.- 8.1 Zusammenfassung.- 8.2 Ausblick.- 9. Schrifttum.