Die Mikrosystemtechnik gilt als eine der Schlüsseltechnologien des 21. Jahrhunderts. Dieses Fachbuch trägt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen Rechnung und gibt dem Leser einen anschaulichen Einstieg in die faszinierende Welt dieser Technik. Hochaktuelle Anwendungen aus der Praxis von komplexen Mikrosystemen zeigen, wie sich miniaturisierte Funktionselemente auf kleinstem Raum integrieren lassen. Das umfangreiche Literaturverzeichnis ist dabei eine wertvolle Hilfe. Dem Fachmann aber auch Studierenden dient das Buch als Nachschlagewerk für zahlreiche technologische Fragestellungen. Diese vollständig überarbeitete und erweiterte Auflage enthält neue Unterkapitel zu Lab-on-a-Chip-Mikrosystemen, neuen Substratmaterialien und zur Laser-Mikrostrukturierung.

Zur 2. Auflage:
"[...] auf fast 500 eng gesetzten Seiten wird mit teils aufwändigen, immer anschaulichen Bildern dem Leser profundes Fachwissen vermittelt."
ImpulsE, 1/2006

"Für den fachlich interessierten Leser ist es wohltuend, derart kompetente Aussagen und Bewertungen zu erhalten".
Vakuum in Forschung und Praxis, 04/2006

Zur 1. Auflage:
"Insgesamt ein sehr empfehlenswertes Buch für alle erfahrenen Mikrosystemtechnik-Entwickler, die sich in die Methodik der mathematischen Beschreibung von Mikrosystemen einlesen und einen Überblick über die verschiedenen Verfahren verschaffen wollen. Für den Anfänger ist das Buch allerdings nur bedingt geeignet,da der mathematische Anspruch sehr hoch ist."
ImpulsE 6/01

Vorwort
Nicht nur Theorie der Mikrosystemtechnik, sondern auch Praxisanwendung in Beispielen

Autorentext
Prof. Dr. Friedemann Völklein lehrt im Fachbereich Physikalische Technik der FH Wiesbaden und ist Direktor des Instituts für Mikrotechnologien (IMtech).
Dr. Thomas Zetterer war wissenschaftlicher Abteilungsleiter am Institut für Mikrotechnik Mainz (IMM) und ist jetzt in der Entwicklungsabteilung bei SCHOTT Electronic Packaging, Landshut, tätig.

Inhalt
Basistechnologien der Mikrosystemtechnik.- Grundstrukturen und Anwendungen.- Systemintegration.- Beispiele komplexer Mikrosysteme.