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Untersuchung des temperaturabhängigen Stofftransportes durch siliziumbasierte PECVD-Schichtsysteme auf Polyethylenterephthalat- und Polypropylenfolien

Beschreibung

Die ursprünglich empirische Entwicklung von Einzel-, Mehr und Gradientenschichtsystemen zur Reduktion der Gasdurchlässigkeit in großflächigen Beschichtungsprozessen wurde in den letzten Jahren abgelöst durch ein tiefgehendes Grundlagenverständnis für Beschicht...

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