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Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene

  • Kartonierter Einband
  • 76 Seiten
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Bachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1, Hochschule Mittweida (FH) (Elektro- und Informationstechn... Weiterlesen
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Beschreibung

Bachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1, Hochschule Mittweida (FH) (Elektro- und Informationstechnik), Sprache: Deutsch, Abstract: Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage für hochbeschleunigte Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlässigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan, durch den Einsatz von Hot-Chuck's, noch recht zeitaufwändig und verlangen daher nach einer alternativen Wärmequelle. Der in dieser Arbeit vorgestellte Ausweg beschreibt einen Polysilizium-Widerstand direkt in der zu beheizenden Struktur. Weiterhin wird die Wärmeausbreitung durch thermische Simulationen dargestellt. Am Ende dieser Arbeit wird noch die mögliche Temperaturmessung an solchen Teststrukturen vorgestellt.

Autorentext
David Weinberger forscht und lehrt am Berkman Center for the Internet & Society in Harvard, er schreibt für Zeitschriften wie 'Wired' und 'Harvard Business Review' und viele Tageszeitungen. Er schrieb sieben Jahre lang für Woody Allen.

Produktinformationen

Titel: Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene
Autor:
EAN: 9783656276708
ISBN: 978-3-656-27670-8
Format: Kartonierter Einband
Herausgeber: GRIN Publishing
Genre: Elektrotechnik
Anzahl Seiten: 76
Gewicht: 122g
Größe: H210mm x B148mm x T5mm
Jahr: 2012
Auflage: 2. Auflage