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Synthese nanostrukturierter Dünnschichten mittels Nanopartikeleindüsung am Beispiel löslicher Systeme

Von:
David Kokalj

Beschreibung

In der vorliegenden Arbeit wird ein hybrider Ansatz zur Erzeugung von Nanokompositschichten untersucht, bei dem beide nanokristallinen Phasen zeitgleich aber lokal getrennt hergestellt und erst auf dem zu beschichtenden Substrat kombiniert werden. Dazu werden ...

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Beschreibung

In der vorliegenden Arbeit wird ein hybrider Ansatz zur Erzeugung von Nanokompositschichten untersucht, bei dem beide nanokristallinen Phasen zeitgleich aber lokal getrennt hergestellt und erst auf dem zu beschichtenden Substrat kombiniert werden. Dazu werden Nanopartikel in einem atmosphärischen Lichtbogenreaktor synthetisiert und mittels eines aerodynamischen Linsensystems in die wachsende PVD-Schicht eingebettet. Am Beispiel der Systeme CrN und TiN, welche industriell relevante Schichtsysteme darstellen, konnte aufgezeigt werden, dass mit dem gewählten Ansatz nc-TiN/nc-CrN Nanokompositschichten hergestellt werden können.

Produktinformationen

Titel:
Synthese nanostrukturierter Dünnschichten mittels Nanopartikeleindüsung am Beispiel löslicher Systeme
Untertitel:
LWT-Schriftenreihe 31
Autor:
David Kokalj
EAN:
9783802788383
ISBN:
978-3-8027-8838-3
Format:
Kartonierter Einband
Genre:
Maschinenbau & Fertigungstechnik
Veröffentlichung:
17.12.2025
Anzahl Seiten:
404
Jahr:
2025
Lesemotiv:
Verstehen

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