Piezoelektrische Mikrosysteme

Von:

Chris Stöckel

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Beschreibung

In diesem Buch werden die theoretischen Grundlagen sowie das spezifische Fachwissen für den Entwurf und die Herstellung von piezoelektrischen Mikrosystemen mit Fokus auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid als Wandlermaterial vermittelt. Vom einfachen Beispiel des Freiträgers bis hin zu komplexen Mikrosystemen aus der Forschung und Entwicklung wird die Anwendung des theoretischen Wissens praktisch aufgezeigt. Eine Anwendung liegt im Bereich der aktiven Mikrooptiken mit piezoelektrischen mikro-opto-elektromechanischen Systemen, unter anderem für die Fluoreszenz-Endoskopie. Darüber hinaus wird ein piezoelektrischer Beschleunigungssensor vorgestellt, der intrinsisch Ladungsträger generiert und für energieeffiziente und energieautonome Systeme eingesetzt werden kann. Zudem werden der Entwurf, die Charakterisierung und Fertigung von hoch miniaturisierten, piezoelektrischen Ultraschallwandlern auf Basis der Mikrotechnologien aufgezeigt.