Dieses Buch behandelt neue Prinzipien und Methoden der Nanoprozesstechnik auf der Grundlage physikalischer/chemischer Effekte durch interdisziplinäre Forschung und zeigt Oberflächen-/Grenzflächeneffekte und Skaleneffekte bei der Verarbeitung, Formung, Modifizierung und skalenübergreifenden Herstellung im Nanomaßstab und mit nanoskaliger Präzision auf. Es handelt sich um eine Zusammenfassung eines großen Forschungsprojekts im Bereich der Ingenieur- und Materialwissenschaften in China, der "Fundamental Research of Nanomanufacturing". Es klärt den Evolutionsmechanismus der Materialstruktur, legt die genaue Charakterisierung und Messmethode des Nanoverarbeitungsprozesses fest, entwickelt einige originelle Nanoverarbeitungsprozesse und -ausrüstungen und liefert die theoretische Grundlage für die Realisierung des konsistenten Chargenprozesses der Nanoverarbeitung. Es berichtet über eine Reihe von Forschungsdurchbrüchen bei den Prinzipien und Methoden der Nano-Präzisionsfertigung, der Herstellung von Strukturen im Nanomaßstab sowie der effizienten und multiskaligen Herstellung von großflächigen Nanostrukturen.

Autorentext

Dr. Bingheng Lu wurde 2005 zum Akademiemitglied der Chinesischen Akademie der Wissenschaften gewählt. Derzeit ist er Dekan, Professor und Doktorvater an der Fakultät für Maschinenbau der Xi'an Jiaotong Universität, China. Außerdem ist er Vorsitzender der Bewertungsgruppe für mechanische Disziplinen des Ausschusses für akademische Grade des Staatsrats, des Beratungsausschusses der National Natural Science Foundation of China, Vizepräsident der China Society of Mechanical Engineering, Vizepräsident der China Machinery Manufacturing Technology Association usw.

Inhalt

Projektübersicht.- Forschungssituation.- Nano-/Subnanometer-Präzisionsfertigung.- Konsistente Herstellung von makro-, mikro- und nanoskaligen Strukturen.- Skalenübergreifende integrierte Fertigung von Nanostrukturen und Bauelementen.- Neue Methoden der Laser-Mikro-Nanofertigung.- Andere Nanofertigungsprinzipien und technologische Durchbrüche.- Ausblick.