Die vorliegende Arbeit entstand während meiner Tätigkeit als wissenschaftlicher Mit arbeiter am Institiut für Steuerungstechnik der Werkzeugmaschinen und Fertigungs einrichtungen (ISW) der Universität Stuttgart. Dem Direktor des Instituts, Herrn Professor Dr.-Ing. Dr. h.c. G. Pritschow gilt mein besonderer Dank für seine Unterstützung und Förderung der zu Grunde liegenden Forschungsarbeiten sowie für die Übernahme des Hauptberichts. Für die Erstellung des Mitberichts danke ich sehr herzlich Herrn Professor Dr.-Ing. habil. H. Hügel. Herrn Dr.-Ing. K.-H. Wurst danke ich in besonderem Maße für die sorgfliltige Durch sicht der Arbeit und seine wertvollen Vorschläile. Das kollegiale Umfeld am Institut und die Vielzahl von Diskussionen mit meinen Kolleginnen, Kollegen und Studenten haben wesentlich zum Gelingen dieser Arbeit bei getragen. Hierfür möchte ich mich bei allen, insbesondere den Kollegen aus der Abtei lung 4, sehr herzlich bedanken. Ich mächte mich an dieser Stelle auch bei den Mitarbeitern der mechanischen und der elektrischen Werstatt für die gute Zusammenarbeit bedanken. Dieser Dank gilt ebenso den Damen im Sekretariat, in der Bibliothek und im technischen Büro. Mein ganz besonderer Dank gebührt meiner Frau Birgit, die mir während der Entstehung dieser Arbeit den notwendigen Rückhalt gegeben hat.

Inhalt
Formelzeichen und Abkürzungen.- 1 Einleitung.- 2 Stand der Technik.- 3 Möglichkeiten zur Verringerung der Bahnabweichungen von Laserbearbeitungsmaschinen.- 4 Anforderungen an ein Strahllagekorrektursystem für CO2-Laserbearbeitungsmaschinen.- 5 Konzeption und Realisierung hochdynamischer Korrekturspiegeleinheiten.- 6 Konzeption des Strahllagesensorsystems.- 7 Aufbau eines beispielhaften Strahllagekorrektursystems.- 8 Ergebnisse der experimentellen Untersuchungen des Strahllagekorrektursystems.- 9 Zusammenfassung und Ausblick.- Schrifttum.