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Elektrisch leitfähige Targetwerkstoffe zur PVD-Abscheidung von Hartstoffschichten für Zerspanungswerkzeuge in HiPIMS-Anlagen

Von:
Bastian Gaedike

Beschreibung

In dieser Arbeit wurden elektrisch leitfähigen Keramiken als Targetwerkstoff für den Einsatz als hitzebeständiger Verschleißschutz in der Zerspanung erforscht. Dabei ist es gelungen, mittels HiPIMPS-Verfahren elektrisch leitfähige Keramiken als Targetwerkstoff...

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Beschreibung

In dieser Arbeit wurden elektrisch leitfähigen Keramiken als Targetwerkstoff für den Einsatz als hitzebeständiger Verschleißschutz in der Zerspanung erforscht. Dabei ist es gelungen, mittels HiPIMPS-Verfahren elektrisch leitfähige Keramiken als Targetwerkstoff mittels Titannitrid-Dotierung von Zirkonoxid-verstärkten Aluminiumoxiden (ZTA) herzustellen und als Schichtwerkstoff gezielt abzuscheiden. Die Voraussetzungen für die Herstellung dieser keramischen Targets über die gesamte Fertigungsprozeßkette konnten ermittelt werden, um eine erfolgreiche technische und wirtschaftliche Umsetzung zu ermöglichen. Ferner wird aufgezeigt, welche Prozessparameter im HiPIMS-Prozess entscheidend für eine hohe Schichtgüte auf dem Schneidwerkzeug sind.

Produktinformationen

Titel:
Elektrisch leitfähige Targetwerkstoffe zur PVD-Abscheidung von Hartstoffschichten für Zerspanungswerkzeuge in HiPIMS-Anlagen
Untertitel:
Forschungsberichte des Instituts für Fertigungstechnologie keramischer Bauteile
Autor:
Bastian Gaedike
EAN:
9783844085099
ISBN:
978-3-8440-8509-9
Format:
Kartonierter Einband
Herausgeber:
Shaker
Genre:
Maschinenbau & Fertigungstechnik
Veröffentlichung:
30.04.2022
Anzahl Seiten:
147
Jahr:
2022
Features:
Dissertationsschrift
Lesemotiv:
Verstehen

Tags

#Hipims, #Keramische Dünnschichten, #Pvd

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