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Laser-optische Messverfahren zur Charakterisierung von Oberflächendefekten im Nanometerbereich

Von:
Andreas Tausendfreund

Beschreibung

Das Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die In-Prozess-Fähigkeit von Streulicht-Messverfahren in Bezug auf eine Charakterisierung von Streulicht-Messverfahren in Bezug auf eine Charakterisierung von stochastisch verteilten Nanostrukturen unter Beweis zu stell...

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Beschreibung

Das Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die In-Prozess-Fähigkeit von Streulicht-Messverfahren in Bezug auf eine Charakterisierung von Streulicht-Messverfahren in Bezug auf eine Charakterisierung von stochastisch verteilten Nanostrukturen unter Beweis zu stellen. Die Herausforderung ist hierbei, dass die Einflüsse von aperiodischen Nanostrukturen bzw. deren Defekte auf das Streulicht-Muster in der Regel unbekannt sind. Die Lösung des inversen Problems erfolgt deshalb über die Identifikation von defektspezifischen Merkmalen in einer großen Menge simulierter Feldverteilungen.

Produktinformationen

Titel:
Laser-optische Messverfahren zur Charakterisierung von Oberflächendefekten im Nanometerbereich
Untertitel:
BIMAQ 7, Forschungsberichte über Messtechnik, Automatisierung, Qualitätswissensc
Autor:
Andreas Tausendfreund
EAN:
9783958862661
ISBN:
978-3-95886-266-1
Format:
Paperback
Genre:
Elektrizität, Magnetismus & Optik
Veröffentlichung:
31.03.2019
Anzahl Seiten:
188
Jahr:
2019
Lesemotiv:
Verstehen

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