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Mehrkomponenten Targets zum Sputtern von AlCr(W, Ta, Si)N-Systemen

Beschreibung

Diese Dissertation befasst sich mit der pulvermetallurgischen Herstellung innovativer PVD-Targetwerkstoffe zur Abscheidung von AlCrN-Hartstoffschichten mit Zugaben von Wolfram, Tantal und Silizium. Es werden Wechselwirkungen zwischen der chemischen Zusammenset...

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