Mehrkomponenten Targets zum Sputtern von AlCr(W, Ta, Si)N-Systemen

Von:

Alexander Fehr

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Diese Dissertation befasst sich mit der pulvermetallurgischen Herstellung innovativer PVD-Targetwerkstoffe zur Abscheidung von AlCrN-Hartstoffschichten mit Zugaben von Wolfram, Tantal und Silizium. Es werden Wechselwirkungen zwischen der chemischen Zusammensetzung und der Phasenkomposition der hergestellten Targets und deren Einfluss auf die tribo-mechanischen Schichteigenschaften der abgeschiedenen Dünnschichtsysteme.Die Ergebnisse zeigen das Potenzial der pulvermetallurgischen Targetproduktion mit Refraktärmetallen für die Entwicklung von Cr-basierten Nitridschichten mit Härten von bis zu 40 GPa.

Produktinformationen

Titel:

Mehrkomponenten Targets zum Sputtern von AlCr(W, Ta, Si)N-Systemen

Untertitel:

Werkstofftechnologische Schriftenreihe 25, LWT-Schriftenreihe

Autor:

Alexander Fehr

Editor:

Wolfgang Tillmann

EAN:

9783802788321

ISBN:

978-3-8027-8832-1

Format:

Kartonierter Einband

Genre:

Maschinenbau & Fertigungstechnik

Veröffentlichung:

30.11.2023

Anzahl Seiten:

280

Jahr:

2023

Lesemotiv:

Verstehen

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