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Systemeigenschaften von Silicium-Planar-Pellistoren

  • Kartonierter Einband
  • 196 Seiten
Silicium-Planar-Pellistoren sind miniaturisierte Gassensoren, die mit Methoden der Si-Mikromechanik hergestellt werden. Brennbare ... Weiterlesen
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Beschreibung

Silicium-Planar-Pellistoren sind miniaturisierte Gassensoren, die mit Methoden der Si-Mikromechanik hergestellt werden. Brennbare Gase werden kalorimetrisch über die Reaktionswärme einer katalytischen Oxidation detektiert. Entscheidende Kriterien für den Einsatz der Sensoren sind die Nachweisgrenze und die Langzeitstabilität, sowie die Eignung zur Gasidentifikation. Technologische Einflüsse auf diese Eigenschaften werden untersucht und Modelle zur theoretischen Beschreibung formuliert, wodurch eine gezielte Dimensionierung erfolgen kann. Die durch technologische Weiterentwicklungen und neue Varianten des Sensorbetriebs erreichten Verbesserungen werden anhand von Messergebnissen dargestellt.

Produktinformationen

Titel: Systemeigenschaften von Silicium-Planar-Pellistoren
Untertitel: Dissertationsschrift
Autor:
EAN: 9783831681198
Format: Kartonierter Einband
Genre: Sonstiges
Anzahl Seiten: 196
Gewicht: 355g
Größe: H10mm x B205mm x T145mm
Auflage: 2., unveränderte Auflage
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