Die chemische Zusammensetzung der Oberfläche von Materia lien, die aus zwei oder mehr Komponenten bestehen, wird sehr oft durch den Einfluß der Primärelektronen sowie durch das Zerstäu ben, wie es zur Reinigung der Probenoberfläche, bzw. zur Aufnahme von Tiefenprofilen verwendet wird, drastisch verändert. In einer quantitativen Beschreibung der Oberflächenzusammensetzung müs sen daher die verschiedenen Effekte, die durch die primären Elek tronen oder Ionen hervorgerufen werden, grundsätzlich berücksich tigt werden. Entsprechend der Verschiedenartigkeit der auftreten den Effekte scheint es unmöglich, dafür ein allgemeingültiges Modell aufzustellen. Mit der vorliegenden Arbeit wird versucht, den Einfluß der er wähnten Primärteilchen bei der Untersuchung von Oxiden, Carbo naten, Silikaten und Legierungen zu demonstrieren. Im zweiphasi gen Legierungssystem Ag-Cu zeigte sich ein zusätzlicher Effekt, der durch die bevorzugte Oberflächendiffusion von Silber erklärt wer den kann. Summary Influence of the Prohing Electron Beam and Sputtering in AES The prohing electron beam and sputtering used for cleaning and depth profiling influences the chemical composition of composite materials often in a dramatic way. Therefore, in a complete analysis several effects in duced by the incident electrons or ions have to be included in a quantitative description of the surface composition. No general model can be given as these effects depend on the type of material investigated. The present paper deals with oxides, carbonates, silicates, and alloys to show the influence of the prohing electrons or ions.

Inhalt
Bedeutung und Möglichkeiten der Reinststoffanalytik in der Metallforschung.- Die Bestimmung kleinster N2- und CO-Gehalte in hochschmelzenden Metallen durch tiegelfreie Heißextraktion im Ultrahochvakuum.- Einsatz moderner instrumenteller Methoden zur Spurenanalyse in hochschmelzenden Metallen.- Applications of Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS).- A Comparison of Quantitative Models for SIMS Analysis.- Ermittlung kleiner Diffusionskoeffizienten mittels SIMS in oxydischen Verbindungen.- Oberflächen- und Tiefenanalyse mit der Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES).- Einfluß des Elektronenstrahls und des Zerstäubens bei der AES.- Oberflächenuntersuchungen an Metallen und Legierungen mit ESCA.- Coating-Untersuchungen mit modernen physikalischen Methoden.- Untersuchung dünner Schichten im Rasterelektronenmikroskop.- Dünnschichtanalysen in der Elektronensonde.- Farbtechniken in der Rasterelektronenmikroskopie und Mikroanalyse.- Bremsstrahlungsuntergrund massiver Proben bei der Elektronenstrahlmikroanalyse.- Statistische Meßfehler und Auflösungsgrenzen in der energiedispersiven Röntgenanalyse.- Methoden der energiedispersiven Elektronenstrahl-Mikroanalyse in der Metallkunde.- Energiedispersive Röntgenanalyse an Einschlüssen und Ausscheidungen unter besonderer Berücksichtigung der Matrixeinflüsse.- Zum Einsatz des Mikroanalysators für die Untersuchung der Elektronenstruktur der Festkörper.- Auswertung von Röntgenvalenzbandspektren mittels mathematischer Methoden.- Die Bindung leichter Elemente in oberflächennahen Schichten metallischer Bauteile.- Ein Zwei-Platten-Multiplier für das Gebiet der ultraweichen Röntgenstrahlung.- Untersuchungen über die Verwendung von Beryllium-Aufdampfschichten in der ESMA.- Ermittlung von Diffusionssperrschichten bei derBildung von Nb3Sn-Schichten in Supraleitern mit Hilfe der Elektronenstrahlmikroanalyse.- Chemische Diffusion im ternären System Zr-Al-O.- Mikroanalytische Untersuchungen hochwarmfester Legierungen für Gasturbinenschaufeln.- Mikroanalytischer Aufbau von Bad- und Spritzschlacken eines Chromnickelstahles im Elektroofenprozeß.- Analyse von Edelmetall-Keramik-Verbindungen für dentale Anwendungen.- Untersuchung des Mikrogefüges Hf-hältiger Ni-Basis-Superlegierungen.- Korrosion von austenitischen Stählen in flüssigem Natrium.- Elektronenstrahlmikroanalyse im Dienste der Archäologie.- Verhalten nichtmetallischer Gefügebestandteile der Stähle beim Erhitzen in Wasserstoff.- Analysengenauigkeit bei der Bestimmung thermodynamischer Werte im System Ni-C bzw. Ni-CrC.- Quantitative Untersuchungen des Ausscheidungsverhaltens der Carbidphasen in X5Cr25 nach elektrochemischer Phasenisolierung.- Automatische, chemisch-spezifische Gefügeanalyse Hardware, Software, Anwendung.- Über das Ausscheidungs- und Korrosionsverhalten niobstabilisierter, korrosionsbeständiger Reaktorstähle.- Die Bestimmung nichtmetallischer Einschlüsse in metallischen Werkstoffen nach Ultraschall-Brüchen.- Das Verhalten von Mangan-Chrom-Spinellen bei der Oxidisolierung aus legierten Stählen.- Gedanken zu einer eichprobenfreien Röntgenfluoreszenzanalyse.- Nichtdispersive Röntgendiffraktometrie mit Halbleiterdetektoren.- Quantitative Röntgenfluoreszenz- und Beugungsanalysen an dünnen Schichten.- Zum analytischen Einsatz von Festelektrolyt-Sonden. Sauerstoffbestimmung in multinären Metallschmelzen.