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Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXIX

  • Couverture cartonnée
  • 277 Nombre de pages
Proceedings of SPIE offer access to the latest innovations in research and technology and are among the most cited references in p... Lire la suite
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Description

Résumé
Proceedings of SPIE offer access to the latest innovations in research and technology and are among the most cited references in patent literature.

Détails sur le produit

Titre: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXIX
Éditeur:
Code EAN: 9781628415261
ISBN: 978-1-62841-526-1
Format: Couverture cartonnée
Editeur: SPIE Press
Genre: Electrotechnique
nombre de pages: 277
Poids: g
Taille: H229mm x B152mm
Année: 2015