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Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVIII

  • Couverture cartonnée
  • 277 Nombre de pages
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Proceedings of SPIE offer access to the latest innovations in research and technology and are among the most cited references in p... Lire la suite
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Description

Résumé
Proceedings of SPIE offer access to the latest innovations in research and technology and are among the most cited references in patent literature.

Informations sur le produit

Titre: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVIII
Éditeur:
Code EAN: 9780819499738
ISBN: 978-0-8194-9973-8
Format: Couverture cartonnée
Editeur: SPIE Press
Genre: Electrotechnique
nombre de pages: 277
Poids: g
Taille: H229mm x B152mm
Année: 2014

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