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Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators
Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators
Gerhard Lammel
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Philippe Renaud
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Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators shows how to design and fabricate optical microsyste...
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