Herstellung und Untersuchung von Galliumarsenid-Einkristallen

Inhalt

1. Einleitung.- 2. Kristallqualität.- 2.1 Einkristallinität.- 2.2 Versetzungsdichte.- 2.3 Kristalldurchmesser.- 2.4 Verunreinigungen im Kristall.- 3. Beschreibung eines Kristallziehversuches.- 3.1 Vorbereitung.- 3.2 Durchführung.- 3.3 Versuchsende und Reparatur des Reaktors.- 4. Versuche zur Optimierung der Parameter.- 4.1 Aufbau der Apparatur.- 4.2 Bewegung des Keimhalters.- 4.3 Reproduzierbarkeit der Keimbewegung.- 4.4 Temperaturmessung und -regelung.- 4.5 Temperaturgradienten.- 4.6 Sichtverhältnisse.- 4.7 Ergebnisse.- 5. Meßtechnische Untersuchungen an GaAs-Einkristallen.- 5.1 Untersuchungen zu Löcher-Lebensdauern und -diffusionslängen in GaAs-Epitaxieschichtén.- 5.2 Gegenüberstellung von Meßverfahren.- 5.3 Zusammenstellung der Ergebnisse.- 6. Zusammenfassung.- Abbildungen.- Liste der Bezeichnungen zu Abschnitt 5.