Verfahren zur mechanischen Erzeugung periodischer nanooptischer Strukturen mit monokristallinen Diamantwerkzeugen am Beispiel von Blazegittern

Zur Verbesserung der mechanischen Herstellung reflektiver Blazegitter in metallischen Schichten wird das konventionelle Verfahren "Ritzen" eingehend untersucht. Die daraus gewonnenen Erkenntnisse dienen der Entwicklung neuer Verfahren und Modifikation einer Ultrapräzisionszerspanungsmaschine.
Mit den neuen Verfahren Prägen und Hobeln gelingt so die qualitativ verbesserte und beschleunigte Herstellung von Blazegittern für Industrie und Forschung.

Zielsetzung dieser Dissertation ist die Verbesserung der mechanischen Herstellung reflektiver Blazegitter in metallischen Schichten. Dazu wurde das konventionelle Verfahren "Ritzen" eingehend untersucht und die daraus gewonnen Erkenntnisse zur Entwicklung neuer Verfahren herangezogen. Durch geeignete Modifikationen einer Ultrapräzisionszerspanungsmaschine konnten Umgebungseinflüsse reduziert werden und so die Fertigung mittels "Ritzen", Prägen und Hobeln an einer Maschine realisiert und hinsichtlich Qualität und Fertigungsgeschwindigkeit verbessert werden. Durch Testreihen an unterschiedlichen Werkstückwerkstoffen und verschiedenen Gitterstrukturen wurden für jedes Verfahren geeignete Parameter identifiziert.