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Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung

  • Kartonierter Einband
  • 164 Seiten
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Beschreibung

In dieser Arbeit wurde eine auf einem Mikrospiegelarray basierende, maskenlose Lithographieanlage entwickelt und aufgebaut, mit welcher Einzelbilder nahtlos nebeneinander projiziert werden. Es wurden über Abformprozesse und direktlithographisch aus verschiedenen Polymeren cm² große Mikrofluidikchips mit 50 µm Kanälen in wenigen Stunden hergestellt. Zudem wurden biochemische Ligandenmuster in 256 verschiedenen Dichtegraden in wenigen Sekunden auf 5 mm² Fläche mit wenige µm großen Pixeln erzeugt.

Produktinformationen

Titel: Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung
Autor:
EAN: 9783731501190
ISBN: 978-3-7315-0119-0
Format: Kartonierter Einband
Herausgeber: Karlsruher Institut für Technologie
Genre: Maschinenbau
Anzahl Seiten: 164
Gewicht: 245g
Größe: H210mm x B148mm x T10mm
Jahr: 2014

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